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真空閥門一般特性
? 防銹性
在與真空環境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。
? 工作壓力范圍在 0～2.5×105Pa
相對較寬的壓力范圍，會使產品的使用面更廣泛，而且閥板的密封是雙向的，閥板在反頂大氣壓時也可密封
? 低漏率
在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統的效率，對降低生產成本非常有效
? 起動時，震動低，對系統沖擊小。
? 結構緊湊，重量輕
? 明顯的閥位指示，可選配加裝閥門啟閉信號控制器，便于自動化可編程控制。
? 高流導
? 采用波紋管作為位移的動密封
無動態漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對橡膠密封，可靠性更高并可以避免產生顆粒污染。
? 真空部分盡量避免采用真空脂。
? 盡量減少真空部件內的無用空間，以保證真空獲得的時間更少。
? 低能耗設計
